康耐德智能的晶圓追蹤自動(dòng)識(shí)別視覺(jué)系統(tǒng)是一種高精度、高效率的自動(dòng)化解決方案，專門用于半導(dǎo)體制造中的晶圓追蹤和識(shí)別。
以下是該系統(tǒng)的技術(shù)原理和應(yīng)用場(chǎng)景的詳細(xì)介紹：
技術(shù)原理

    圖像采集：
    用高分辨率工業(yè) CCD 相機(jī)捕捉晶圓表面的圖像。
 配備高分辨率鏡頭和穩(wěn)定的光源系統(tǒng)，確保圖像清晰度和對(duì)比度。

特征提取與模式識(shí)別：

    圖像處理軟件提取特征點(diǎn)（如邊緣、標(biāo)記等），并與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行模式匹配。
 利用深度學(xué)習(xí)算法進(jìn)行目標(biāo)檢測(cè)和文字識(shí)別，識(shí)別晶圓上的 OCR、T7 矩陣碼和條形碼。

高級(jí)照明系統(tǒng)：

 內(nèi)置多種模式的軟件控制明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明，可應(yīng)對(duì)超軟標(biāo)記、超薄鍍層藍(lán)寶石基板等復(fù)雜情況。
 提供輔助照明端口，以滿足新型晶圓制程和涂層的成像挑戰(zhàn)。

圖像增強(qiáng)過(guò)濾器：

    自動(dòng)圖像增強(qiáng)過(guò)濾器可克服視覺(jué)質(zhì)量不佳問(wèn)題，將讀取失敗轉(zhuǎn)變?yōu)槌晒Α?br/>
讀取算法：

    核心算法基于在多個(gè)晶圓 ID 系統(tǒng)上安裝所獲得的經(jīng)驗(yàn)開(kāi)發(fā)，適用于卷邊、CMP、模具繪制痕跡等條件下的 ID 標(biāo)記。


應(yīng)用場(chǎng)景

    晶圓追蹤：
    在半導(dǎo)體制造的后端處理中，晶圓追蹤對(duì)于最大化工具利用率和產(chǎn)量至關(guān)重要。
 晶圓讀碼器可實(shí)現(xiàn) 100% 的晶圓追蹤，降低人工干預(yù)需求。

缺陷檢測(cè)：

    系統(tǒng)能夠高效識(shí)別晶圓表面缺陷并分類、標(biāo)記，輔助晶片分揀。
    檢測(cè)晶圓表面破損，計(jì)算破損面積及定位。

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)：

    在探針臺(tái)測(cè)試中，基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)（DNN）的圖像識(shí)別系統(tǒng)能夠快速、準(zhǔn)確地識(shí)別對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，提高對(duì)位效率。

光學(xué)字符識(shí)別（OCR）：

    用于讀取晶圓上的字母數(shù)字和編碼，確保在卷邊、CMP、模具繪制痕跡等條件下的高讀取率。

系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

高讀取率和可靠性：康耐視晶圓 ID 系統(tǒng)設(shè)立了高讀取率和高可靠性的標(biāo)準(zhǔn)。
 適應(yīng)性強(qiáng)：系統(tǒng)可應(yīng)對(duì)新型晶圓制程和涂層的開(kāi)發(fā)，通過(guò)輔助照明端口提供特殊照明支持。
 快速讀取性能：讀取速度比之前的產(chǎn)品系列快 40%，提供更可靠的結(jié)果。
 緊湊設(shè)計(jì)： OCR 系統(tǒng)具有小占位面積，適合在潔凈室環(huán)境中操作。
 靈活性：系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求定制功能，如光學(xué)字符驗(yàn)證（OCV）、讀取數(shù)據(jù)和條形碼，以及對(duì)齊多個(gè)對(duì)象。

康耐德智能的晶圓追蹤自動(dòng)識(shí)別視覺(jué)系統(tǒng)通過(guò)先進(jìn)的圖像采集、特征提取、模式識(shí)別和照明技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高精度、高效率的晶圓追蹤和識(shí)別，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的多個(gè)環(huán)節(jié)，顯著提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。