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從晶圓到芯片是一個復(fù)雜的過程,晶圓是制造芯片的基本材料,由高純度的單晶硅切割而成。芯片則是基于晶圓上制造出的微小電子元件,從晶圓到芯片,機器視覺檢測系統(tǒng)貫穿始終,為制造工藝提供了重要的支持和保障。
在晶圓制造階段,機器視覺檢測系統(tǒng)主要用于以下工序:
1.表面檢測:通過對晶圓表面進(jìn)行掃描,檢測表面是否存在雜質(zhì)、劃痕、凸起等缺陷。
2.尺寸測量:通過高精度測量系統(tǒng),對晶圓的直徑、厚度、形狀等進(jìn)行測量,確保晶圓尺寸符合要求。
3.表面激光字符識別:利用機器視覺檢測系統(tǒng)識別刻寫在晶圓表面的字符,包括產(chǎn)品信息、批次號等。
4.晶圓切割:通過機器視覺檢測系統(tǒng)對晶圓進(jìn)行精確切割,確保切割后的芯片尺寸和形狀一致。
5.定位與找切割道:利用機器視覺檢測系統(tǒng)對晶圓進(jìn)行精確定位,確保切割道的位置準(zhǔn)確,從而提高芯片的良率。
6.缺陷檢測:在晶圓制造的各個階段進(jìn)行缺陷檢測,包括表面缺陷、線寬均勻性等,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
康耐德智能在半導(dǎo)體領(lǐng)域也進(jìn)行了自主研發(fā),針對晶圓和晶片對位、封裝元件切割檢測、半導(dǎo)體晶圓切割質(zhì)量檢測、半導(dǎo)體晶片ic表面檢測、芯片印刷字符識別都有一系列的機器視覺系統(tǒng)解決方案。
從晶圓到芯片的生產(chǎn)過程中,機器視覺系統(tǒng)發(fā)揮著重要的作用。在各個制造工序中,機器視覺系統(tǒng)的應(yīng)用不僅提高了生產(chǎn)效率,還為產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障。
藥品膠囊檢測視覺系統(tǒng)是制藥行業(yè)高速產(chǎn)線中確保包裝完整性與用藥安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。康耐德智能藥品膠囊視覺檢測系統(tǒng)在膠囊的生產(chǎn)和包裝線上,有著非常廣泛和成熟的應(yīng)用??梢酝瓿啥喾N關(guān)鍵的檢測任務(wù)。
軟袋輸血包內(nèi)異物檢測視覺系統(tǒng)用于自動檢測軟袋輸血包內(nèi)液中可能存在的各種微小異物(如玻璃碎屑、金屬顆粒、毛發(fā)、纖維、塑料碎屑等),確保輸血安全,杜絕因異物導(dǎo)致的醫(yī)療風(fēng)險。
軟袋輸液條碼 OCR 視覺識別系統(tǒng),能夠自動定位、識別和驗證軟袋輸液包裝上的條碼(包括一維碼和二維碼),并將識別結(jié)果(如藥品ID、批號、有效期等)輸出到數(shù)據(jù)庫或控制系統(tǒng),實現(xiàn)生產(chǎn)流水線上的自動質(zhì)檢、信息錄入和溯源管理。
光刻膠涂布是光刻工藝中的關(guān)鍵步驟,其質(zhì)量直接影響到后續(xù)曝光、顯影、蝕刻等工序的成敗,最終關(guān)系到芯片的性能和良率。微小甚至肉眼難以察覺的涂布缺陷都可能導(dǎo)致電路短路、斷路或性能偏差。因此,在涂布后及時、準(zhǔn)確地檢測出缺陷至關(guān)重要。
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